品名

激光燒蝕CVD(化學氣相沈積系統)

型號

LCVD-50H

制造商

青島精誠華旗

主要功能

化學氣相沈積系統,材料生長

技術指標

 (一)爐體部分:

  1、爐體功率爲5 kW,爐膛長約1.5 m

  2、分三個溫區,采用S型熱電偶獨立控溫檢測;

  3、滿足2 英寸外徑石英管的使用要求;

  4、石英管的兩端爲水冷不鏽鋼法蘭,進氣端法蘭設有激光器石英窗口。

  (二)真空系統:

  1、機組:采用分子泵機組(F110+2XZ-4);

  2、測量:寬量程爲電腦數字式複合真空測量系統,測量範圍: 10610-6Pa

  3、壓力控制:手動針形微調閥;

  4、真空機組工作方式:

  ⑴ 系统高真空;

  ⑵ 机械泵可单独粗抽;

  5、 真空管道连接采用不锈钢硬管道及不锈钢波纹管道;

  6、 炉体真空漏率10-9PL/s,從1 個大氣壓到1×10-2Pa 1小時左右。

  (三)氣路系統

  1、 工艺气体种类:氨、氢、氧、氮、氩、甲烷六种气体;

  2、 气路部分从瓶接口开始为本机气源系统;

  3、 管道全部采用进口半导体级1/4EP 管道;

  4、 阀门进口:减压阀为美国GENTEC,其他爲SWAGELOK

  5、 质量流量计:采用Brooks進口質量流量計;

  6、 质量流量计量程:氮1SLM,其余500 SCCM

  7、 质量流量计为VCR 接口。

  (四)計算機控制系統

  1、采用10.4 寸彩色液晶觸摸屏,模塊化組件、WINDOWS 界面;

  2、多組工藝曲線存儲,實時參數動態指示(溫度、時間、曆史曲線、工藝氣體

  的流量、閥的開關狀態等等)

  3、曆史數據、曲線的存儲調用等等;

  4、控制過程可手動可全自動;

  5、用戶自行編制工藝曲線步驟,可實行等級權限管理;

  6、數據輸入方式:觸摸屏、鍵盤、鼠標等;

  7、獨立監測:溫度獨立檢測,防止意外超溫等;

  8、報警警戒:超溫、斷水及相應氣路設定的安全報警措施等;

設備現狀

正常

收費標准

面議

管理員

馬迅

聯系方式

0512-62872629

設備照片